加熱器：

半導(dǎo)體技術(shù)設(shè)備關(guān)鍵零部件，用來實現(xiàn)給硅片預(yù)熱等目的。

業(yè)務(wù)范圍：

提供各類經(jīng)過驗證的加熱器新品供應(yīng)及維修、翻新服務(wù)。

靜電卡盤:

半導(dǎo)體技術(shù)設(shè)備反應(yīng)室內(nèi)關(guān)鍵零部件，是放置晶圓并讓其接受等離子蝕刻的場所，具有靜電吸附作用。

業(yè)務(wù)范圍:

提供靜電卡盤維修及翻新服務(wù)。